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測量行程:265x200 mm/70x70 mm包括:METRIOS CROSS,METRIOS HD CROSS兩種型號
測量微小工件的最佳方法測量行程(LXD):100x8 mm-300x60 mm
測量行程(XY):160x160 mm-315x315 mm測量高度(Z):160-250 mm